單晶硅生產(chǎn)中成熟的應用是石英玻璃坩堝,是采用陶瓷坩堝提純多晶硅。在物理法提純太陽能級多晶硅材料和定向結(jié)晶爐(DSS)系統(tǒng)中采用陶瓷坩堝越來越多。陶瓷坩堝的材料基體為陶瓷,其晶相為晶體和玻璃體,其基本性能和分析手段為工程陶瓷的研究內(nèi)容。而石英玻璃坩堝簡稱石英坩堝,其材料基體是玻璃,完全是玻璃相。
陶瓷坩堝的主要化學成分:
二氧化硅(Silica) SiO2 99.0%
三氧化二鋁(Alumina) Al2O3 0.5% 氧化鈣(Calcia) CaO 0.5%
石英玻璃坩堝的主要成分是單一高純度的二氧化硅(Silica) SiO2
陶瓷坩堝涂層材料:
在制備鑄造多晶硅時,在原料熔化,晶體生長過程中,硅熔體和坩堝長時間接觸,會產(chǎn)生黏滯作用。由于兩種材料的熱膨脹系數(shù)不同,如果硅材料和坩堝壁結(jié)合緊密,在晶體冷卻時很可能造成晶體硅或坩堝破裂;同時,由于硅熔體和坩堝長時間接觸,與制備直拉單晶硅時一樣,會造成陶瓷坩堝的腐蝕,使得多晶硅中的氧濃度升高。為了解決這個問題,工藝上一般利用Si3N4等材料作為涂層,附加在坩堝的內(nèi)壁,從而隔離了硅熔體和坩堝的直接接觸,不僅能夠解決黏滯問題,而且可以降低多晶硅中的氧,碳雜質(zhì)濃度;進一步地,利用Si3N4涂層,還使得陶瓷坩堝可能得到重復使用,達到降低生產(chǎn)成本的目的。利用定向凝固技術(shù)生長的鑄造多晶硅,在多數(shù)情況下,坩堝是消耗件,不能重復循環(huán)使用,即每一爐多晶硅需要一支陶瓷坩堝。陶瓷坩堝的內(nèi)涂層處理得恰當,陶瓷坩堝可以重復使用。
陶瓷坩堝力學性能:
陶瓷是脆硬性材料,其抗拉強度很低而抗壓強度很高。性能測試與試樣的內(nèi)在質(zhì)量和表面狀態(tài)關系密切,一些顯微缺陷和表面粗糙度對測試結(jié)果有很大影響。
科眾陶瓷專業(yè)生產(chǎn)高純剛玉氧化鋁陶瓷坩堝等產(chǎn)品的優(yōu)異廠商,是目前國內(nèi)專業(yè)生產(chǎn)工業(yè)陶瓷的現(xiàn)代化企業(yè)!
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